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Product laser

產(chǎn)品中心
OLED陣列激光修復(fù)設(shè)備
產(chǎn)品簡介
利用激光技術(shù)對陣列線路中O/S缺陷進(jìn)行修復(fù)，改善OLED屏幕后期的亮/暗點(diǎn)線等問題，極大提升產(chǎn)品良率。
產(chǎn)品特點(diǎn)

支持G6代OLED TFT基板

兼容性好，支持OLED制程中所有膜層材料修復(fù)（P-Si/Mo/Ti /Al/ITO/Ag等）

選配靈活，可根據(jù)客戶制程技術(shù)任意配置

修復(fù)成功率≥99.9%

精密的光路控制系統(tǒng)，高精度對位及定位精度

對接CIM系統(tǒng)，智能化/閉環(huán)反饋

應(yīng)用領(lǐng)域
G6代OLED TFT基板
技術(shù)指標(biāo)
設(shè)備尺寸 3600mm(W) x 4100mm(L)x 3400mm(H)
設(shè)備環(huán)境（潔凈度） 低于100級
玻璃基板尺寸 支持G4.5/G6代
激光輸出穩(wěn)定性 ≤ 2%，RMS
平臺精度 重復(fù)定位精度≤ ±1μm；定位精度<±3μm
薄膜類型 P-Si，Mo，Ti /Al/ Ti，ITO/Ag/ITO 等
設(shè)備產(chǎn)能 循環(huán)周期:≤60s&帶頂升機(jī)構(gòu)
應(yīng)用案例